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经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 山东 济南 |
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陈经理 先生
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手机号码: | 13573785046 |
公司官网: | www.zf168.com |
公司地址: | 济南市济微路中段 |
发布时间:2022-08-23 17:03:13
(1)FeCl3浓度值对蚀刻速率的危害:FeCl3蚀刻液中随FeCl3浓度值的提高,蚀刻速率加速。当所含FeCl3超出某一浓度值时,因为蚀刻机水溶液粘度提升,浸蚀速率反倒有一定的降低。五金蚀刻设备厂家针对选用抗蚀印料或抗蚀湿膜的铜零件,浓度值可调节在35°波美度上下;选用液态光致蚀剂(如骨胶,乳液等)的铜零件。浓度值操纵在42°波美度上下。一般状况下,蚀刻机箱内药液浓度值在350g/L-600g/L为宜。
(2)***的加上量对蚀刻机的浸蚀速率危害:在腐蚀机中添加***,一则可以抑止FeCl3和CuCl2的水解反应;二则可提升蚀刻速率。尤其是当蚀刻液中铜成分大路37.4g/L后,盐酸的作用更为显著。但这应依据不一样的抗蚀层原材料挑选适宜的酸度,假如抗蚀层挑选骨胶,果胶,乳液等光致抗蚀层,则不能用太高的酸度,不然,抗蚀层便于被毁坏。针对光感应环氧树脂抗蚀剂及油墨印刷抗蚀层,则可以挑选较高的酸度。
(3)温度对蚀刻速率的危害:在FeCl3蚀刻加工工艺中,随温度的上升,蚀刻机中产品工件的浸蚀速率显著加速。例如在50℃时,全新升级蚀刻液对铜的蚀刻速率可做到10μm/min。但在现实制造中,全是选用常温下蚀刻方式。FeCl3对铜的蚀刻是一个化学反应,伴随着蚀刻的开展,蚀刻机***水温度会慢慢上升,蚀刻速率加速。伴随着FeCl3的耗费,蚀刻速率也会降低。与此同时这一提温全过程也较为迟缓,因此在全部蚀刻全过程中蚀刻速率转变并不大。
刻蚀相对光刻要容易。光刻机把图案印上去,然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案(或者没有图案)的部分,留下剩余的部分。
“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆(或者叫硅片)上盖上事先做好的光刻板,然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质,易于腐蚀。
“刻蚀”是光刻后,用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉(正胶),晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形。然后用另一种腐蚀液对晶圆腐蚀,形成半导体器件及其电路。
扩展资料:
光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动
1.手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了;
2.半自动:指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行***调谐;
3.自动: 指的是 从基板的上载,***时长和循环都是通过程序控制,自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。
提升安全性解决和蚀刻薄铜箔及薄层压板的能力
在蚀刻实木多层板里层那样的薄层压板时,木板非常容易倒丝机在滚轮和传输轮上而导致废料。因此,蚀刻内多层板的设施务必确保能稳定的,靠谱地解决薄的层压板。很多机器设备生产商在蚀刻机里额外传动齿轮或滚轮来避免这类状况的产生。更强的办法是选用额外的晃来晃去的聚四氟乙烯涂碳纤维板做为薄层压板传输的支撑柱。针对薄铜箔(例如1/2或1/4盎司)的蚀刻,务必确保不被擦破或划伤。薄铜箔禁不住像蚀刻1盎司铜箔时的机械设备上的缺点,有时候较强烈的震颠都是有很有可能划伤铜箔。
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