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等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。近期的发展是在反应室的内部安装成搁架形式，这种设计的是富有弹性的，用户可以移去架子来配置合适的等离子体的蚀刻方法：反应性等离子体（RIE），顺流等离子体（downstream），直接等离子体（direction pla***a）。

有机化学蚀刻机加工工艺的主要全过程：

流程一：清理解决:五金蚀刻设备厂家将待腐蚀零件毛胚表层的各类污垢清理整洁，以确保防蚀层能与金属表层 的附着力均勻一致，并使蚀刻加工速率匀称不会改变。常见的清理解决力法有:有机溶液清理，偏碱有机化学清理，酸碱性有机化学清理，超音波清理及电解法清理解决等D在应用全过程中可依据零件金属复合材料种类及零件表层的***水平各自挑选。

流程二：防蚀解决:其意义是维护这些不用腐蚀加工的表层，使必须腐蚀加工的金属表层曝餚出去，而被与金属复合材料相一致的腐蚀剂所腐蚀。这一工艺流程规定:防蚀原材料要与金属表层黏附坚固，并在全部腐蚀全过程中不可能产生防蚀层剥落状况。防蚀解决具体包含：油墨印刷防蚀技术性，拍照有机化学防蚀技术性，移印防蚀技术，图型电镀工艺防蚀技术性，激光器光刻技术防蚀技术性及刻画防蚀层技术性等。

流程三：腐蚀加工:是将被腐蚀金属材料零件按设计图纸需求制造好防蚀文图后，放人腐蚀槽中开展腐蚀加工的全过程。在这里一工艺流程中关键操纵:腐蚀剂浓度值，腐蚀溫度，蚀刻加工時间等金属材料腐蚀加工依据设计图纸规定可分成五种基本上种类，即:总体腐蚀，挑选腐蚀，多阶梯腐蚀，光洁度腐蚀和有机化学激光切割开料。金属材料腐蚀+必须开展防蚀解决，零件经清理解决后就能开展腐蚀加工。

流程四：消除防蚀层:零件经腐蚀达标后，应用，溶液或别的清洁液将零件表层的防蚀层除掉。

五金蚀刻设备厂家带您回望蚀刻机器设备的发展趋势，开始仅是一个蚀刻液槽或缸，储放了蚀刻液，聚酰膜挂浸在里面溶液中除去未维护的铜;后又使蚀刻液搅拌或木板晃动，略微提升蚀刻速率。自此，在蚀刻液槽正中间有一根喷嘴，木板垂直放于酸洗槽周边，喷嘴转动的向心力把溶液溅出于表面上完成蚀刻铜。因为木板固定不动置放于槽体，人力放板与取板低，且劳动效率大。这类标准下生产加工的木板线框总宽/间隔在0.5毫米之上。

之后选用水准传送木板，泵运输溶液至喷嘴自喷溶液，前期都还没采用喷头，仅选用塑料软管上切小圆孔或间隙自喷出的溶液，工作压力较小。之后进一步发展趋势成选用喷头与晃动构造。

水准传送承载能力木板的媒介曾是选用塑胶编织带，由蚀刻机两边辊轮旋转推动胶网的挪动，木板放到在网上后没动的。这类输送带传送的益处，合适各种各样规格(长、宽与板厚)木板及柔性板的蚀刻，其缺陷是只有单层蚀刻，双面板要经翻板钩二次蚀刻。为能两面与此同时蚀刻，改成滚轴传送，那样木板伴随着滚轴前行，左右都是有间隙可自喷溶液于表面。运载滚轴的工作辊旋转，有靠传动链条推动或传动齿轮推动，相对来说传动齿轮稳定靠谱。由于传送滚轴中间有空隙，会使小规格板及绵软的板不可以传送，这就需要考虑到滚轴的相对密度，或额外“过河”，促使小规格板与柔性板也可以传送，现有机器设备称能传送超薄25μm的片状。

曾有五金蚀刻设备厂家的竖直式传送蚀刻机，木板竖直挂吊于工装夹具上进到蚀刻机内，在蚀刻室两边溶液自喷表面。因为蚀刻机器设备繁杂和沒有反映的蚀刻实际效果，因而没被发展趋势。如今流行是水准传送自喷式蚀刻机。

蚀刻机开印前不但要准备好得用的油墨，也要依据必须，对其颜色和印刷特性开展调配，以达到印刷的必须。配墨前，先要估计出相对应的耗墨量，使调墨量适度。尤其是对二液反映型油墨，应依据其干固速率和印刷速率来估计其调墨量。

1.在开展油墨颜色调配时，一是要留意灯源对油墨呈色的危害。一般应在太阳光下开展配色，颜色呈色就较为。而在人力灯源下配色，就需要挑选呈色视比较好的灯源，日光灯的呈色实际效果就差些。调配油墨时，应挑选与所配色更为贴近的颜色，随后根据添加小量的别的颜色就可以获得需要的颜色。应尽量减少用多色油墨调配。由于调配时常用的油墨色彩饱和度越多，则中间色的灰度级越高，颜色越暗，也促使油墨的调配不容易把握。在实际配墨时，应大概明确所配色的色彩，选中相对应的油墨，随后再慢慢添加辅墨。在添加深棕色墨时要留意渐渐地添加，不必一次添加太多，不然既非常容易导致消耗，又促使调配不断数次。

2.在印刷时，因为印刷工艺物、自然环境标准、金属丝网目等数众多要素，很多油墨不经过调配都不可以达到应用规定，因此在应用前都需要对蚀刻机印刷特性开展适度的调配。一般主要是根据加上中和剂的方式来改进其印刷特性。如金属丝网筛网目数较高，干躁速率应偏慢，则可添加小量的止干剂。而粗网印刷时，黏度应稍大，干躁速率应稍快，则应添加适量的催干剂。在添加中和剂开展调配时，一定要搅拌均匀，其使用量还要操纵适度，不然实际效果很有可能得不偿失。