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等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。近期的发展是在反应室的内部安装成搁架形式，这种设计的是富有弹性的，用户可以移去架子来配置合适的等离子体的蚀刻方法：反应性等离子体（RIE），顺流等离子体（downstream），直接等离子体（direction pla***a）。

古时候对五金蚀刻设备厂家技术性的运用是一种随机性，在某大家将酸一不小心喷撒在金属材料上边发觉酸能够将喷撒的地区腐蚀砍断，断的地区与沒有断的地区产生了立体式的觉得。随后大家就细心的把这类状况纪录的出来。接着发觉了具备强碱型的无级酸，也就是防腐蚀的化学物质，历经持续的试验和改善，逐渐的运用到具体日常生活，给大家的日常生活产生了非常大的便捷。

用一种液态去清除一种或多种多样金属复合材料的概率，在于这类化学物质的效率，换句话说这类化学物质的腐蚀性。仅有这类化学物质的腐蚀性充足强才有可能被运用成做蚀刻机技术性的化工原料。从这也得知，有机化学腐蚀的重特大发展趋势全是因为有机化学蚀刻机技术性液的发展趋势所获得的立即成效。除此之外第二个关键性***的是防腐涂料的发觉和发展趋势，由于这操纵着大家对同一金属材料上有目的性的部分腐蚀才可以真真正正生产制造加工出大家所必须的商品，因而安全防护原材料是非常关键的。自打拥有腐蚀加工技术性至今，安全防护技术性及腐蚀加工工艺方式一直全是确保加工品质的管材。

1.提升板子与板子中间蚀刻速率的一致性

蚀刻机在持续的板子蚀刻中，蚀刻速率越一致，越能得到匀称蚀刻的板子。要做到这一规定，务必确保蚀刻液在蚀刻的整个过程持续保持在的蚀刻情况。这就规定挑选非常容易再造和赔偿，蚀刻速率非常容易操纵的蚀刻液。采用能给予稳定的实际操作标准和对各种各样水溶液主要参数能自动控制系统的加工工艺和机器设备。根据操纵溶铜量，PH值，溶液的浓度，溫度，水溶液总流量的匀称性(自动喷淋系统或喷头及其喷头的晃动)等来完成。

2.高全部板子表层蚀刻速率的匀称性

板子左右双面及其板面上每个位置的蚀刻匀称性是由板子表层遭受蚀刻剂总流量的匀称性决策的。蚀刻全过程中，左右板面的蚀刻速率通常不一致。一般来说，下板面的蚀刻速率高过上板面。由于上板面有水溶液的沉积，变弱了蚀刻反映的开展。能够根据调节左右喷头的喷啉工作压力来处理左右板面蚀刻不均匀的状况。蚀刻印制电路板的一个广泛难题是在同样時间里使所有板面都蚀刻整洁是难以保证的，板子边沿比板子管理中心位置蚀刻的快。选用自动喷淋系统并使喷头晃动是一个合理的对策。更进一步的改进能够根据使板管理中心和板边沿处的自喷工作压力不一样，板前沿和板后面间歇性蚀刻的方法，做到全部板面的蚀刻匀称性。

3.提升安全性解决和蚀刻薄铜箔及薄聚酰薄膜的工作能力

蚀刻机在蚀刻实木多层板里层那样的薄聚酰薄膜时，板子非常容易倒丝机在滚轴和传输轮上而导致废料。因此，蚀刻内多层板的机器设备务必确保能稳定的，靠谱地解决薄的聚酰薄膜。很多机器设备生产商在蚀刻机上额外传动齿轮或滚轴来避免 这类状况的产生。更强的方式是选用额外的摇摆不定的聚四氟乙烯涂包线做为薄聚酰薄膜传输的支撑柱。针对薄铜箔(比如1/2或1/4蛊司)的蚀刻，务必确保不被擦破或刮伤。薄铜箔禁不住像蚀刻1盎司铜箔时的机械设备上的缺点，有时候较强烈的振颤都是有很有可能刮伤铜箔。